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OTF-1200X-SF含滑軌法蘭的管式爐--OTF-1200X-SF
簡要描述：

OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm，帶有滑軌法蘭的管式爐，Z高工作溫度為1200℃，此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1200X-SF
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2026-01-17
  • 訪  問  量：3524

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm，帶有滑軌法蘭的管式爐，高工作溫度為1200℃，此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。

 

技術(shù)參數(shù)

 爐體結(jié)構(gòu)

  • 爐管尺寸：100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL（石英管）
  • 高工作溫度為1100℃
  • 右端安裝有一水冷滑軌法蘭，以便于放樣和取樣
  • 在預(yù)熱爐體和主反應(yīng)爐體之間有一水冷法蘭
  • 左端水冷法蘭上有個(gè)氣體接口，用于客戶通入反應(yīng)氣體
  •  

 電源

單相, 220V AC, 50/60 Hz

 大功率    

3.6KW（需要20A的空氣開關(guān)）

 加熱區(qū)

  • 主反應(yīng)爐：440mm
  • 恒溫區(qū)：100mm

 溫控系統(tǒng)

  • 采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序
  • 采用K型熱電偶
  • 控溫精度：+/- 1℃
  • 可選購控溫軟件，可通電腦來設(shè)置和顯示溫度程序
  •   

 密封法蘭

右端法蘭：

  • 水冷卻法蘭，通過冷卻循環(huán)水對(duì)密封圈進(jìn)行水冷（可在本公司購買循環(huán)水冷機(jī)）
  • 法蘭上有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接
  • 爐體內(nèi)的樣品臺(tái)與法蘭相連接，并且右端法蘭為滑軌法蘭，以便于放樣和取樣
  • 法蘭上安裝有一數(shù)顯防腐真空計(jì)（如下圖）

 凈重

100kg

 尺寸

 

  • 右端法蘭關(guān)閉時(shí)的尺寸：1220mm×458mm×585mm（48"L X 18"W X 23"H）
  • 右端法蘭打開時(shí)的大尺寸：1676mm×458mm×585mm（66"L X 18"W X 23"H）

 質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包含爐管、密封圈和加熱元件）

 質(zhì)量認(rèn)證

  • 質(zhì)量認(rèn)證
  • 所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL認(rèn)證
  • 本公司所有高溫爐都可通過TUV、UL或CSA認(rèn)證
  •      

 注意事項(xiàng)

  • 爐管內(nèi)氣壓（相對(duì)氣壓）需小于0.02MPa
  • 所用氣瓶上必須安裝減壓閥（可在本公司購買減壓閥）
  • 當(dāng)設(shè)備溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)部不可處于真空狀態(tài)，需處于常壓或微正壓狀態(tài)
  • 進(jìn)氣流量需小于200sccm

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