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箱體內(nèi)膽采用優(yōu)質(zhì)鋼板或鏡面不銹鋼氬弧焊制而成，箱體外殼采用優(yōu)質(zhì)鋼板，雙層鋼化玻璃。造型美觀，新穎

PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

新一代真空干燥箱，集公司多年在箱體加熱方面成功試驗(yàn)，通過(guò)不斷潛心研究，突破傳統(tǒng)技術(shù)創(chuàng)造性解決了早熱傳導(dǎo)過(guò)程中“瓶頸“—尋找到*的熱傳導(dǎo)方式。

PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機(jī)，其等離子腔體尺寸為 6“dia x 6.5“。特別適合對(duì)有機(jī)物和基片表面進(jìn)行清洗，同時(shí)可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實(shí)驗(yàn)需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達(dá)20nm/min.對(duì)于在薄膜生長(zhǎng)前對(duì)基片進(jìn)行預(yù)處理，此款設(shè)備極為理想。

DZF-6020-HT系列產(chǎn)品是通過(guò)CE認(rèn)證的真空干燥箱，其中一款前面板上帶有一石英觀察窗口，可在工作時(shí)觀察腔體內(nèi)部情況。此系列干燥箱Z高溫度可以高達(dá)400℃。儀器上安裝有50-500ml的浮子流量計(jì)，可以往腔體內(nèi)通入各種氣體，儀器殼體后面安裝有各種標(biāo)注接口，分別可與氣瓶管道和真空泵相連接。保溫材料采用氧化鋁纖維，純凈度高，外殼采用加厚優(yōu)質(zhì)Q235鋼板噴塑，儀器上安裝有浮子流量計(jì)，可通氣氛。

GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品，有自動(dòng)控制的樣品臺(tái)，就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學(xué)元件和塑料等，也可在常壓下進(jìn)行等離子